自今年3月装机、6月试产后,DRAM厂力晶半导体昨日对外宣布,第一批试产0.13微米12吋晶圆良率高达80%,整体良率达50%。力晶半导体董事长黄崇仁指出,第一批试产晶圆成功,证明该公司已掌握12吋晶圆的制程设备,以及0.13微米DRAM产品的设计等,与全球DRAM同业相较,力晶创下全世界最快试产成功的纪录。
力晶表示,力晶已将首批12吋晶圆交付下游厂商封装测试,并送交客户验证的准备作业;力晶12吋厂以256Mb DRAM量产,采用更换金属线光罩(Metal Option)选择DDR、SDRAM版本的弹性设计,试产成功后将加速第四季量产投片进度,预计每月可达1万5000片产能。
力晶副总经理陈正坤指出,由于全球DRAM厂12吋晶圆制造经验有限,力晶试产也曾面临新设备成熟度不足,以及0.13微米光罩适用性等技术挑战,目前该公司逐步拉升整体良率,相信力晶将可快速完成前期试产程序。