經濟部發佈訂定「在大陸地區投資晶圓廠審查及監督作業要點」申請人必須具備6項條件，將由12日起生效，該要點並載名，主管機關審理申請案，應採總量管制原則。預計2005年12月31日前，以核准3座8吋晶圓廠登陸為上限。

該審查要點中，對於申請赴大陸投資設立8吋晶圓廠的資格限定，包括為台灣晶圓製造公司、在台以投資設立12吋晶圓廠且已近入基本量產階段連續6個月以上、對大陸投資事業需具主控權並以直接投資為原則、晶圓廠舊有設備作價投資者優先、大陸投資事業至程技術限於0.25微米以上、大陸投資事業所取得歸屬台灣的智慧財產權需歸屬申請人所有。