经济部发布订定「在大陆地区投资晶圆厂审查及监督作业要点」申请人必须具备6项条件，将由12日起生效，该要点并载名，主管机关审理申请案，应采总量管制原则。预计2005年12月31日前，以核准3座8吋晶圆厂登陆为上限。

该审查要点中，对于申请赴大陆投资设立8吋晶圆厂的资格限定，包括为台湾晶圆制造公司、在台以投资设立12吋晶圆厂且已近入基本量产阶段连续6个月以上、对大陆投资事业需具主控权并以直接投资为原则、晶圆厂旧有设备作价投资者优先、大陆投资事业至程技术限于0.25微米以上、大陆投资事业所取得归属台湾的知识产权需归属申请人所有。