昨日工研院機械所舉辦「奈米製造技術研討會」,邀請到日本電子株式會社應用研究中心小倉一道所長,來講解電子束、離子束應用於奈米技術與設備。小倉一道指出,日本目前的奈米科技發展策略上,電子產業以研發半導體奈米製程、奈米線(Nanowire)及下一代顯示器等,化學/材料則以有機分子化合物等為主,因此小倉代表的JEOL公司,將提供奈米級設備予業者,以強化新興奈米市場競爭力。
小倉一道表示,JEOL有SEM(1.0nm)、STEM(0.2nm)、TEM(0.14nm)等200 kV奈米分析工具,許多JEOL產品已使用於奈米科學與奈米科技裡,未來該公司將再接再力,繼續為客戶提供奈米科技之解決方案。
成立於1949年的JEOL,公司以銷售TEM(Transmission electron microscopy;穿透式電子顯微鏡術)產品,為重要之微電子材料微區及界面結構分析技術,可應用於製程監控、技術研發、還原工程(reverse engineering)方面,其核心技術為奈米科學與奈米科技,包含特徵顯微鏡(Observation Characterization)、奈米製造(Nanofabrication)等。