昨日工研院机械所举办「奈米制造技术研讨会」,邀请到日本电子株式会社应用研究中心小仓一道所长,来讲解电子束、离子束应用于奈米技术与设备。小仓一道指出,日本目前的奈米科技发展策略上,电子产业以研发半导体奈米制程、奈米线(Nanowire)及下一代显示器等,化学/材料则以有机分子化合物等为主,因此小仓代表的JEOL公司,将提供奈米级设备予业者,以强化新兴奈米市场竞争力。
小仓一道表示,JEOL有SEM(1.0nm)、STEM(0.2nm)、TEM(0.14nm)等200 kV奈米分析工具,许多JEOL产品已使用于奈米科学与奈米科技里,未来该公司将再接再力,继续为客户提供奈米科技之解决方案。
成立于1949年的JEOL,公司以销售TEM(Transmission electron microscopy;穿透式电子显微镜术)产品,为重要之微电子材料微区及界面结构分析技术,可应用于制程监控、技术研发、还原工程(reverse engineering)方面,其核心技术为奈米科学与奈米科技,包含特征显微镜(Observation Characterization)、奈米制造(Nanofabrication)等。