積極尋求轉型的華新麗華，除光纖通訊外，也鎖定微機電(MEMS)技術，投入新台幣15億元設立的四吋及六吋微機電晶圓代工廠，將分別在本(9)月與11月初啟用。預備大量生產的六吋廠也將在11月初加入營運行列，兩座廠合計投資金額達新台幣15億元，都位在桃園楊梅。華新指出，其中四吋廠主要是試產用途，因此採人工生產，每月產能約500片，而六吋廠則會以量產為主，全自動化生產後每月產能可達5000片。

華新指出，華邦五吋廠原有的半導體設備與微機電所需設備仍有極大不同，不過未來華邦已承諾，將會在半導體的人才與微機電晶片所需的部份特殊控制IC上全力支援華新微機電晶圓代工廠。

去年即投入微機電開發的華新麗華，未來將會以專業微機電晶圓代工廠定位，承接國內外design house訂單為主，而國內同樣投入微機電技術業者還包括由環隆、勝華等廠商組成的亞太優勢以及全磊微機電。

華新指出，微機電技術未來在將被使用在光通訊用光開關上，這部份將會與公司光通訊事業部門密切合作，此外，華新與美國麻省理工學院及加州大學聖塔芭芭拉分校共同研發的光主動元件內晶片，也會是微機電小組未來在光通訊領域的研發方向。