應用材料公司宣佈其Producer化學氣相沉積製程設備的全球銷售量,已正式突破300套大關,客戶涵括遍及世界各地的晶片製造商;其中並有超過100套的系統銷往台灣,這也再次驗證了台灣於全球市場的重要性。在這300多套系統中,包含了200mm與300mm的製程設備,並已有20多套的Producer製程設備安裝在300mm晶圓廠中。
應用材料公司副總裁Farhad Moghadam表示:「Producer這套製程設備的每一項組件的設計,都是為讓200mm及300mm晶圓製造商擁有極高的生產力。目前已經有許多客戶把Producer當成標準的製程設備,並用其來支援大量生產的化學氣相沉積製程,包括銅晶片的介質薄膜製程應用。」
Producer製程系統是應用材料於1998年推出,其採用獨特的平台架構,即是擁有一個集中式的晶圓傳送室,上面最多可以安裝三個雙反應室的化學氣相沉積模組;此傳送室把晶圓成對的送至各個模組中,讓這套製程設備最多可同時處理六片晶圓。因此,Producer可達到每小時130多片晶圓的產出率,並在處理10萬片以上的晶圓後,才需對設備進行濕洗的清潔工作。