Air Products透过其子公司三福气体股份有限公司(Air Products三福)扩充其在台湾南科厂的一氧化二氮(N2O)产能,以满足亚洲地区快速成长中的半导体与薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的市场需求。已于今年初开始运作的产能,大幅增加N2O产能一倍,且生产的高纯度N2O亦更能符合现有及未来客户的需求。
最新扩充的产能使用Air Products现有技术。不仅在生产用原料的供应上维持不变,南科厂也会承袭Air Products一贯的严谨态度,严格执行制程在线监测以及完善的产品分析。
Air Products全球电子部副总裁Corning Painter表示:「这一波的产能扩充不仅是我们实现对客户承诺的最佳明证,更是我们持续成为全球电子产业特殊气体领导供货商的决心展现。我们将继续运用全球化供应能力以及完整的产品阵容,成为业内最可靠的供货商。」
一氧化二氮(N2O)与硅甲烷(silane)共同用于氮化硅层的化学气相沉积,氮化硅层的主要作用则是钝化、屏蔽或隔离。另一项主要应用则是熔融石英玻璃(FSG)的电浆沉积,可供作为相邻金属线之间的低介电隔离薄膜。