全球性半导体制程设备、技术及支持服务供货商-FSI International日前宣布,由于欧洲、亚太地区、日本和美国主要半导体厂商的需求强劲,该公司ANTARESR CryoKinetic清洗设备的销售在2005年第三个会计季再创佳绩。ANTARES设备过去主要用于后段制程的瑕疵去除,现在随着愈来愈多客户开始利用90奈米技术生产半导体组件,这套清洗设备也获得更多厂商采用。
FSI主席暨执行长Don Mitchell表示:「ANTARES清洗设备持续获得全球客户新增与续约订单的热烈支持。随着90奈米制造进入量产,未来新技术又逐步投入应用,我们预期客户对于这套设备的兴趣将继续增加。在先进半导体组件制造的环境下,铜金属、多孔性低介电系数和其它先进材料以及精密电路结构都要求不会造成表面损害的清洗技术,而CryoKinetic技术为IC制造商提供一套可靠和实证有效的方法,帮助他们提高生产良率。」