半导体制程设备、技术及支持服务供货商FSI International宣布,一家全球领先的美国半导体公司已向FSI订购多套8/12英吋晶圆混用型MAGELLAN浸泡式清洗制程设备;该公司是由于MAGELLAN能提供最好的微粒清洗效果和蚀刻均匀性而决定采购这套制程设备。此一设备预计于FSI 2007会计年度的上半年出货并用于实际的生产作业。
FSI主席暨执行长Don Mitchell表示:「在成功通过客户晶圆厂的评估后,此一订单是对于MAGELLAN强大制程能力的进一步肯定。由于我们认为湿式制程设备市场并未获得充份的技术支持,因此决定进入这个规模数十亿美元的市场。这份订单说明只要供货商能提供制程效能优异的独特产品,那么成熟市场也会有许多商机。」
MAGELLAN制程设备是一种8/12吋晶圆混用型机台(bridge tool),其所提供的最佳制程效能和组态配置能力可用来克服先进IC开发与制造的各种挑战。FSI独家拥有的表面张力梯度(STG)洗濯/干燥、SymFlow蚀刻和MegaLens超音波清洗技术为这套设备带来领先业界的功能。MAGELLAN制程设备除了不会在任何表面留下水痕之外,还能提供精确均匀的薄膜蚀刻能力、超高的微粒去除效率以及优异的瑕疵控制能力。MAGELLAN制程设备订价从150到500万美元,实际价格视采购数量和最终配备而定。