联电与美商超威半导体(AMD)日前共同宣布,将合作开发先进制程控制(Advanced Process Control﹔APC)技术,使十二吋晶圆制造更具经济效益。该技术初期将应用于双方合资成立于新加坡的十二吋晶圆厂UMCi,以使高产量的十二吋晶圆厂更具经济效益,联电旗下其他十二吋晶圆厂亦将采用此技术。
联电表示,先进制程控制(APC)技术,将使高产量的半导体制造过程自动化,有助于降低成本、增进生产力,提供高质量且依需要实时调节制造过程,除可降低制造成本,进而提高每片晶圆获利。
联电与超威将把此技术,应用于双方合资成立于新加坡的十二吋晶圆厂,预定二○○五年生产。联电旗下其他十二吋晶圆厂亦将采用此技术,其中包括位于南科且已进入量产阶段的12A厂。
联电与超威表示,此次合作可望引起业界另一波开展更尖端、自动化十二吋晶圆制造设备之风潮﹔为求得下一代十二吋晶圆的尺寸效益,制造商必须更严谨地控制制造过程,而APC藉由实时、自动化的控制系统,可减少对质量、效率以及良率所可能产生的不良影响。