提供稳定供电并维持半导体制造设施运作为之不易,麦肯锡(McKinsey)的报告指出,大型半导体厂每小时可使用达100兆瓦时的电量,高于大多数炼油厂和汽车厂用电量。若提升半导体厂产量、进行更复杂的程序,用电量将会持续提高,例如最新的极紫外光微影技术需要的电力为之前的10倍。短暂断电会使历时数月的晶片制造毁于一旦,因此成功的半导体厂是透过缜密设计、可因应未来趋势的配电基础设施,确保可靠的电力供应。
断电或电压骤降等供电问题都能导致成批半导体作废,断电代价相当高昂。在南韩,断电1分钟的损失达数千万美元。透过更完善的电源管理,可以减少此类非预期的停工状况,进而避免意料之外的制造成本。拥有可靠、具弹性调度的电力,是避免电源干扰、降低成本、增进效率与产能的关键。透过数位转型设施,即能稳健地部署以微处理器控制、配有感应器、电力品质较先前版本更灵敏的最新工具。当半导体厂可以从本身的配电网路取得高可靠度、高品质、高可供性的电力时,便能更快速地应对千变万化的需求。
降低停工风险最有效的方法之一,是利用不断电系统(UPS)减低供电问题的影响。 UPS可确保流程自动化与控制系统持续运作,以及保护关键基础设施的电源可用性,并可控制输入电压干扰。高品质的电力供应有助于灵敏工具与程序以最高效率运作、避免设备因短暂电源问题或暂时的功率损失而失灵或故障,同时可以保护昂贵的设备避免过早损坏。
半导体厂亦可利用电力监视解决方案与电力计量提升效能。电力监视可以提供电力系统状况与能源效率的进一步资讯,协助半导体厂做出改善效能的决策。设施的计量架构可以最佳化读取设施各部分的资讯,例如,电力计量与监视解决方案可以针对目标,追踪与半导体制造设备有关之能源当量值(kWh)的消耗量,并确认能源效率的改善。
施耐德电机与一间每年生产大约50万晶圆的大型半导体晶片制造兼铸造厂合作,以大幅度提高该厂需要的电力系统可供性与可靠性,确保1,500种以上的OEM处理工具皆能维持24/7运作,并降低电网偏离状况。该公司采用施耐德电机UPS解决方案稳固其供电状况,并搭配电力监视软体与计量器,更完善地管理成本、品质与可靠性。现在,该半导体厂可以存取详细的分析报告以改善工厂的供电品质,并透过SMS通知系统发生异常,以符合EN 50160等国际电力品质遵循标准。
施耐德电机持续协助台湾企业进行数位转型,透过提供稳健且完善的供电解决方案,以帮助台湾半导体制程拥有更高效稳定的产能。