根据中央社报导,工研院电子工业研究所,日前发表利用半导体优势领先世界的微机电技术,电子所微电机组件技术组组长黄新钳表示,盼借着微机电技术的开发与技术转移,带动更多设计中心投入此一领域,而能在2007年让台湾微机电产值达到10亿美元。
工研院电子所发表的微机电技术成果,共分为微通讯、微流体与感测、微结构、应用系统整合及制程整合等五大类。其中,在制程整合部分,包括COMS、MENS(微机电)、COMS Machining等,都是利用台湾领先全球的半导体优势,将微机电技术与IC结合,所开发的装置将可应用于汽车安全气囊组件等许多产品上。在微通讯部分,电子所开发出微机电射频等组件与技术、掌握关键零组件技术,让台湾在光通讯上从设计到制程,都有完整的产业技术支持。
另外,在共享芯片技术上,电子所希望能让制程标准化、建立共通的平台,以降低厂商进入的门坎,而能在微机电IC平台上开发更多产品与应用。
黄新钳表示,政府积极推动台湾转型设计研发,因此电子所开发这些技术,目的就是希望抛砖引玉,透过技转,并利用现有占优势的晶圆代工制程,让台湾能增加更多的微机电设计中心,借着民间力量的投入,让更多设计中心投入微机电产业,带动产业发展。
电子所希望到2007年时,台湾的微机电产业虽然也许仍无法与半导体相比,但产值能达到10亿美元的水平。