市调机构VLSI Research日前公布2002年全球半导体微影设备市场销售报告，与先前Gartner所公布的数据类似，荷商ASML仍是2002年最大的微影设备供货商，日商Nikon、Canon紧追在后，分居二、三名。

VLSI报告指出，微影设备市场因受半导体产业景气不佳之影响，在2002年中一度预估整年度设备出货量将不及400台，幸而ASML在第四季持续出货畅旺，才稍微拉抬整个设备市场的出货成绩，但2002年半导体设备销售仍旧延续前一年的跌势。

ASML之193奈米机台2002年出货量高达205台，销售额15.76亿美元，总计拿下35.2％的市场，排名第二及第三的Nikon、Canon市占率各为33.5％和24.9％，至于Ultratech、Exitech则名列四、五。

VLSI表示，5大微影设备商各具竞争优势，ASML除在193奈米机台出货取得领先，在微影设备价格方面亦扮演领导的角色；Nikon、Canon向来在LCD stepper市场，有相当稳健的表现；Ultratech在先进封装应用设备出货，则优于同业。