于三月底与英飞凌签约,将获该公司0.11微米DRAM及12吋晶圆厂相关技术技转的中芯国际,近来传出其北京12吋厂舍弃惯用的ASML设备,将购置四台与英飞凌有长期合作关系的日本佳能(Canon)显影设备,以全力供应英飞凌产能的讯息。
据工商时报报导,目前全球半导体显影设备市场大致由日本尼康(Nikon)、佳能及荷兰ASML三分天下;台湾晶圆大厂台积电一直是ASML的长期客户,联电以尼康为主,其余如华邦、力晶皆以尼康为主,目前佳能在台湾主要客户为茂德。
茂德当初选用佳能显影设备,就是因英飞凌与佳能一直有长期合作计画,英飞凌位于德国德勒斯登的12吋生产线,也是采用佳能显影设备。而中芯在上海三座八吋厂是以荷兰ASML显影设备为主,由于台积电亦以ASML为主要显影设备品牌,中芯量产之初,一度曾传言是为争取台积电客户前来下单而采用ASML。
此次中芯北京厂改买佳能设备,除显示北京厂全力配合英飞凌技术移转的用心,也摆明将来在上海生产的客户产品并不容易马上转往北京生产线生产,北京厂很可能成为英飞凌的长期DRAM代工厂。