千里迢迢来台参加Semicon Taiwan 2004展览的半导体热处理与原子层沉积（atomic layer deposition；ALD）技术供货商Aviza Technology（暐贳科技），虽然才刚满一岁，在全球各大半导体工厂里运作的机组却已有2100多部。Aviza Technology总裁暨首席执行长Jerry Cutini表示：「悠久的历史与足够的经验让Aviza在短短一年的时间内，市占率即成长了两倍。富弹性的产品特性与良好的售后服务网是我们满足客户不同需求的利器。」

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@圖說:(圖一)Aviza Technology总裁暨首席执行长Jerry Cutini

总公司位于加州Scotts Valley的Aviza，是于2003年10月由VantagePoint Venture Partners所创立，在全球共有十多处营销与客服据点。Aviza的历史可追溯至1962年成立的半导体电热器组件供货商Thermco，因此在1960年代即可见其产品身影。在不断的并购中，由VantagePoint筹集资金将ASML的热处理和原子层沉积部门独立成新的Aviza Technology。也由于其重要成员均来自于包括Watkins-Johnson、SVG（Silicon Valley Group）及ASML等厂商，使得Aviza在热处理与沉积解决方案上拥有丰富的技术与经验。因此虽然Aviza是一家新成立的公司，却已经累积了40年的技术和产品。

据调查，2004年全球半导体设备商成长率是60％，2005成长率则约18～20％，未来成长将趋缓。以设备商来说，Aviza的产能已经明显高出许多，而制程方面的弹性是Aviza的最大优势。多元化的产品可满足客户不同需求，如对于单一产品的量产，或多样产品的少批量生产等。Jerry Cutini在半导体设备业界已有25年以上的丰富经验，所聘用的高阶主管也都具有一定的资历。而悠久的研发历史也让Aviza在创立初期已有超过2100部机台在世界各地的半导体大厂中运转。

Jerry Cutini也提及，设备商研发的困难之处，在于开发过程须花费许多时间去试验新材料。现在市场上化学原料种类增加了十几种，且半导体材料越来越小、越薄、越精密，因此设备商在分析试验的过程中，开发时间将会拉长。现今Aviza在市场上的竞争厂商大约有三～四家，但是该公司产品的市占率还是从2003年的5％提高到2004年的10％，2005年更预计会有12～14％。由于Aviza非常注重良好的售后服务，因此其产品虽然价格并非市场上最低，但却拥有极高价效比。

此次Aviza展出针对12吋晶圆厂的mini-batch ALD系统，可为单晶圆高介电材料电容器如HfO2与HfSiO2等沉积处理提供更高的均匀度。而且其产量比HF薄膜沉积的单晶圆工具快上四倍，因此非常适合用于大量生产（如DRAM），或是小批次应用的晶圆厂。Jerry Cutini说：「Aviza产品以薄膜沉积技术为主要发展方向，产品线应用范围广，可从0.5微米到65奈米，将来更能延伸至32奈米晶圆，产品延展性非常高。」目前Aviza的产品涵盖热处理与原子层沉积领域，将来还会积极寻找更新的技术与收购机会以拓展市场。