近年來微機電系統（MicroElectroMechanical Systems；MEMS）一詞可說是愈來愈熱門，但許多人仍不解其意，在本文開始之前或許能做些說明。

許多人都知道何謂積體電路（Integrated Circuit；IC），IC是將電路中的電阻、電容、二極體、電晶體等電子元件及線路，不斷以更精巧、更縮密的尺寸來製造，即是將電子電路微縮化，此可稱為微電子、微電路。

將同樣的道理從電子領域對應到機械領域，MEMS就是不斷將機械性元件以更微縮的方式來製造，此可稱為微機械，微電子包含微電子元件與微電子線路，而微機械也包含微機械元件與微機械結構，不過MEMS除了具有微機械外同時也搭配上微電子，讓機械與電子融合、接軌，如此在極小的尺寸內同時有機械與電子功效，就稱為MEMS。
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