近年来微机电系统（MicroElectroMechanical Systems；MEMS）一词可说是愈来愈热门，但许多人仍不解其意，在本文开始之前或许能做些说明。

许多人都知道何谓积体电路（Integrated Circuit；IC），IC是将电路中的电阻、电容、二极体、电晶体等电子元件及线路，不断以更精巧、更缩密的尺寸来制造，即是将电子电路微缩化，此可称为微电子、微电路。

将同样的道理从电子领域对应到机械领域，MEMS就是不断将机械性元件以更微缩的方式来制造，此可称为微机械，微电子包含微电子元件与微电子线路，而微机械也包含微机械元件与微机械结构，不过MEMS除了具有微机械外同时也搭配上微电子，让机械与电子融合、接轨，如此在极小的尺寸内同时有机械与电子功效，就称为MEMS。
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