近期有数家晶圆厂宣布,其3奈米或2奈米逻辑晶片的量产技术将转移阵地,从主流的鳍式场效电晶体(FinFET)制程,改以奈米片(nanosheet)的电晶体架构制造。imec将於本文回顾奈米片电晶体的早期发展历程,并展??其新世代架构,包含叉型片(forksheet)与互补式场效电晶体(CFET)。
晶片产业从未为了量产而急於采用全新的电晶体架构,因为这会带来错综复杂的新局面和投资成本。但在近期,像是三星、Intel、台积电和IBM等公司的公开声明都在在显示,我们正面临制程技术的关键转折。
自2022年或2023年起,这些半导体大厂都将从长期采用的鳍式场效电晶体(FinFET)制程中逐渐转移,在3奈米或2奈米逻辑晶片的生产规划中,导入奈米片(nanosheet)形式的电晶体架构。
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