利用碳纤维奈米管技术,能强化现今的运输盒解决方案,Entegris 开发出STAT-PRO 9000 碳纤维奈米管,增强PEEK碳化合物运输承载盒解决方案,以更高价值的PEEK 运输承载盒,来满足半导体市场的需求。半导体制造商要求可混合运行(高度互通于现有的运输承载盒安装基础)、价位降低的运输承载盒解决方案,其效能应等同于(或优于) 传统的PEEK运输承载盒解决方案;新一代STAT-PRO 9000 运输承载盒采用混合运行解决方案,可满足日益增长的市场需求,而且效能与价格都优于传统PEEK 运输承载盒。
相较于传统PEEK 运输承载盒解决方案,STAT-PRO 9000 新一代运输承载盒可严格控制表面电阻的波动,提供出色的静电放电保护,并改善了抗磨损性及吸湿性,达到极低的释气有机分子污染等级,且在极高温之下也有良好的弯曲和拉伸强度。 Rossi表示,「能够实现上述优势并且提升效率,应归功于我们正在申请专利的材料,其生产制程均受到严格控管。」Stat-Pro 9000 运输承载盒适用于所有晶圆大小。
下图表列出 STAT-PRO 9000 运输承载盒的特性以及在半导体制程中的优势。
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