Advanced Energy 一直致力於開發各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統等解決方案,這方面的技術更一直領先全球。該公司推出一款型號為 GEMINI 5540A 的射頻功率測量儀。這款全新的功率測量儀內建一組高度靈活、方便易用而又高度整合的測量電路,可支援高度精確的線上射頻功率測量功能,而且適用於必須配備高精度射頻功率控制功能的方案,例如半導體、通訊系統、工業製品和醫療設備等產品。Advanced Energy 持續研發半導體產品射頻功率解決方案,今後該公司會繼續努力研發全新的技術,以改善電漿電源功率控制功能,以及提升先進蝕刻和沉積製程的效能。
GEMINI 5540A 是一款將感測器和測量儀表合二為一的儀器,不但容易使用,而且還可在 0.2 至 200MHz 之間的頻率範圍以及 3 至 5,000W 的功率範圍內執行測量功能,其 2-sigma 準確度達正負0.5% + 0.5W。這是一款高度整合的測量儀器,用戶只需採用一個測量儀表,便可取代多種不同的測量儀器,最適用於需要準確測量和控制其射頻功率的設備。
Advanced Energy 關鍵感測和控制產品副總裁 Gerry Blumenstock 表示:「技術要求極為嚴格的半導體製程,例如高深寬比(HAR)電漿蝕刻、高精度控制和射頻系統的腔室匹配等製程,其效能直接受所採用的技術影響。OEM廠商只要採用 Advanced Energy 這項全新的 GEMINI 5540A 測量技術,便可準確校正系統以及即時監測其射頻功率,提高先進電漿製程的傳真度和一致性。」
GEMINI 5540A 射頻功率測量儀配備一個較大而又易於閱讀的OLED數位顯示器,可同時顯示正向和反向功率、電壓駐波比(VSWR)和頻率,而且無需為正向和反向功率測量重新配置,也可自動感測頻率。這款測量儀可將校正次數減少至每12個月一次。相較之下,傳統的測量儀器則需要每6個月校正一次。這款射頻功率測量儀以5V輸入電壓、500mA輸入電流進行作業,但要透過標準的USB 2.0 埠連接外置電池或交流電源插座,利用交流電時則要採用已有現貨供應的USB配接器。
這款測量儀除了可直接用來測量之外,也可連接電腦,以便與 Advanced Energy 的 GEMINI Tools 資料視覺化軟體搭配一起,執行資料蒐集、儲存和審核功能。