高效能類比與混合訊號IC領導廠商Silicon Labs宣佈推出業界最高整合度、基於MEMS的Si50x振盪器，以替代需要低成本、低功耗和大量生產的工業、嵌入式和消費性電子應用中的通用型晶體振盪器（XO），相關應用包括數位相機、儲存設備和記憶體、ATM、POS設備和多功能印表機等。新型Si50x振盪器基於Silicon Labs專利的CMEMS技術，為首項在大量生產中將MEMS架構直接建構於標準CMOS晶圓上、並達到完全整合的高可靠性「CMOS+MEMS」單晶片解決方案。

相較於現有的頻率控制解決方案，Silicon Labs Si50x CMEMS振盪器系列產品具備更小尺寸、更高可靠性、更佳抗老化特性以及更高整合度，其採用專利技術的單片式架構，在單晶粒（single die）中整合MEMS諧振器和CMOS振盪器電路。首創的CMOS+MEMS整合架構與Silicon Labs廣受肯定的混合訊號專業經驗相結合，將大幅改變頻率控制產業：

1. CMEMS振盪器於CMOS工廠大量生產製造，此工廠擁有標準生產線，支援完整振盪器系統的晶圓針測（wafer probing）製程，具備最高品質和生產技術

2. CMEMS技術可實現資料手冊保證的效能，並具備10年的頻率穩定性，包括焊接偏移、負載推移、VDD變化、運行溫度範圍、振動和衝擊，其保證操作壽命效能是他牌XO和MEMS振盪器的10倍

3. CMEMS振盪器緊密耦合MEMS諧振器、CMOS溫度感測器和補償電路，並在熱力瞬變時及整個工業溫度範圍內提供高穩定的頻率輸出，在工業和嵌入式應用的長期運作期間提供可預期的可靠頻率參考

4. CMEMS諧振器採用被動補償，在設計中使用可抵消溫度變動的材料。因此Silicon Labs可透過創新的混合訊號電路設計專業知識，來創造更小、更低功耗、更符合成本效益的振盪器，同時確保最佳的頻率和溫度穩定性以及抗老化效能

Si50x CMEMS振盪器支援32kHz至100MHz間的任意頻率。頻率穩定性選項包括±20ppm、±30ppm和±50ppm，運行溫度範圍支援商業應用（-20℃至+70℃）和工業應用（-40℃至+85℃）。CMEMS振盪器還提供豐富的現場和工廠可編程特性，包括低功耗和低週期抖動模式、可編程的上升/下降時間，以及可配置高/低輸出（OE, output-enable）功能。

Si50x CMEMS振盪器系列產品為客戶解決傳統方案中常見的供應鏈問題。Si50x振盪器由全球領先的中芯國際（SMIC）生產製造，其為中國大陸規模最大、最先進的晶圓代工廠。透過規模效應和品質控制，該策略性合作關係可大幅增加製造和供應的可預測性。由於CMEMS振盪器為整合式單晶片，透過採用廣泛生產的壓模膠（molded-compound）4接腳封裝更確保可靠的供應鏈和可預測性。

IHS MEMS和感測器總監暨資深首席分析師Jeremie Bouchaud表示：「時序產品市場現已面臨轉捩點 － 最新一代基於MEMS的振盪器極具成本效益，能可靠地替代傳統晶體振盪器。Silicon Labs CMEMS技術將MEMS諧振器和頻率控制電路整合至單晶粒元件中，可為大量電子系統設計提供最完整的晶體振盪器替代解決方案。」

Si50x振盪器如同Silicon Labs的所有振盪器產品，均提供網路客製化功能和2周樣品交付週期，其也可透過Silicon Labs銷售合作夥伴在客戶端「零延遲」即時現場燒錄。此外，Si50x振盪器與現有的石英或MEMS振盪器接腳和封裝相容，可實現快速便捷的替換解決方案。

Si50x系列產品包括四類產品，具有數千種的時序配置彈性：

- Si501為具備控制輸出（OE）功能的單頻振盪器

- Si502為具備OE和頻率選擇（FS, frequency-select）功能的雙頻振盪器

- Si503為具備頻率選擇技術的四頻振盪器

- Si504為可編程的振盪器，完整支援所有配置特性，採用單一接腳介面，以ppb（parts per billion）等級精度進行精準的頻率調整

Silicon Labs副總裁暨時序產品總經理Mike Petrowski表示：「Si50x CMEMS振盪器系列產品是頻率控制市場的重要技術進展，其結合基於MEMS單晶粒解決方案的所有優點，同時具備通用型晶體振盪器的最佳特點，並提高可靠性以及縮短交貨週期。經由結合Silicon Labs專業的MEMS設計、元件、製程整合和混合訊號設計技術，Si50x系列產品為重視成本和功耗之嵌入式、工業和消費性電子應用提供了最佳的通用型振盪器解決方案。」