專為半導體產業客戶提供環保科技解決方案的德國達思公司（DAS Environmental Expert）近日推出最新的燃燒/水洗（burn/wet）廢氣處理系統STYRAX。該款系統旨在處理CVD化學氣相沉積等製程廢氣中所含的危險物質。根據達思廢氣處理事業部總監Guy Davies博士指出：「我們特別針對半導體產業CVD製程等各種常見應用設計出STYRAX。藉由該款工具，我們為客戶提供了具成本效益的廢氣處理系統，以因應其薄膜製程之各種需求。」

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新款系統採用成熟可靠的技術，並針對CVD製程要求而調整。此製程以及半導體產業的其他應用，會在氣相化學反應過程中在物體表面形成一層薄膜。晶片製程中的CVD會沉積出各種不同成分的薄膜，包括氮化矽、氧化矽、以及多晶矽，而這類製程中採用的各種氣體則具有毒性、高度可燃、高爆性、或影響氣候等特性。

達思台灣總經理沈森永表示：「STYRAX可更有效率地滿足台灣客戶的需求，同時還能因應CVD與蝕刻製程的廢氣處理作業，使其功能更臻完備。」環保專家達思持續針對嚴苛的CVD製程之廢氣減排要求開發系統功能，目前鎖定的應用範疇更進一步擴展至記憶體製造領域。由於STYRAX機台佔用空間極小，因此能安裝在晶圓廠的地下室或緊靠在設備旁邊。此外，針對要求高正常運作時間的客戶，更可大幅拉長實施預防性維護保養週期。

STYRAX所採用的燃燒/水洗技術多年來在GIANT與UPTIMUM系統中運用成功。由於各種廢氣是從上到下燃燒，而運用水幕噴灑可防止侵蝕及反應室出現微粒堆積現象。在反應室旁的洗滌區，化學反應物與懸浮微粒會在此處被吸附與過濾，之後，經過冷卻的潔淨空氣便可從屋頂排出至大氣中。

STYRAX可正常運作時間極長，具有減排效率，維護保養的作業也簡單。由於系統保養的間隔週期極長，使客戶可降低各方面營運成本。另外它還能輕易連結到監視網路，針對要求接近100%正常運作時間的應用，達思也研發出加強版STYRAXDUO，其內含兩個系統。在必要時－例如其中一組系統進行保養維護時，第二組系統便能立即接手所有廢氣處理作業。（編輯部陳復霞整理）