诺发系统（Novellus）于日前宣布，已导入超紫外线热力学制程系统 SOLA xT，将其应用在先进的45奈米以下的逻辑组件生产，其利用超紫外线的照射来改善前一道制程镀上的薄膜特性，这一新系统可监控紫外线强度及提供客制化的波长光线组合，因此可将系统延用到多世代。第一套SOLA xT 系统将运送到新加坡的联华电子晶圆工厂 Fab 12i。

多平台续列式制程结构的SOLA，可以独立控制每一单一平台的温度、波长和强度，以提供最佳的产品一致性和效率。这种高度可配置的紫外线处理制程比单波长，单温固化制程可让超低介电质薄膜提高额外百分之二十五的硬度。在这种情况下，UVTP可通过化学键重建修复这种损伤。在前端制程，UVTP还可用来对N型金属氧化物半导体网关作应变力诱导晶体信道的设备。应变力诱导首先是沉积高拉伸应力的介电薄膜，并随后将其暴露在紫外线更加大其应变力，进而导致增加了组件的性能。

针对上述的所有应用，监控设备的性能健康度和晶圆的性能的一致性，对提高量产生产效率而言是必需的。为了实现这一目标，新的SOLA xT平台配置紫外线监测功能和先进的演驿法，以维持对晶圆上组件的性能均匀度和稳定性。客制化的SOLA xT的光学组件对每个四个单一连续性平台做紫外线导向的优化，可达到芯片内部的最佳一致性成果。在连续式多平台系统架构下，可确保每个晶圆通过相同的信道统计出单一性能分布，相对于竞争对手平台具有多达 4个或6个不同晶圆的路径，因此统计出晶圆有着许多不同的性能分布。