安捷伦科技(Agilent Technologies)推出一套Windows架构的半导体组件分析仪,可将电容相对于电压(CV)及电流相对于电压(IV)等两种量测能力整合到单一仪器中,不仅有助于节省半导体测试时间,同时还能提高生产力。Agilent B1500A是一套完整、齐备且可扩充的参数特性量测及分析解决方案,尤其能协助处理分析65奈米以下的微影(Lithography)制程技术。这部模块式的仪器提供了10个插槽配置组合,能支持安捷伦科技新的EasyEXPERT软件,并采用符合直觉式的“由上往下”(Top Down)组件特性量测方法。
对开发半导体制程技术的工程师和科学家来说,量测半导体组件的特性是一项相当复杂的工作。Agilent B1500A采用Windows架构的图形化用户操作接口,让不熟悉参数量测仪器的新手工程师也能快速上手。安捷伦科技自动化测试事业群副总裁暨日本半导体测试事业部总经理海老原稔(Minoru Ebihara)表示:「Agilent B1500A搭配EasyEXPERT软件可让每位用户成为参数测试的专家。一般使用半导体测试仪器时,用户必须了解仪器硬件的功能特性且必须进行重重的设定,才能实际执行量测,但B1500A却能让用户立即上手展开量测工作,达到最高的投资报酬率。」
B1500A SCUU可提供既方便又简单的方式,将两个SMU和MFCMU连接在一起,而且不需另外使用外接式切换模块(Switching Matrix),即可在这些不同的量测资源间自由切换。B1500A的软件可处理所有IV-CV切换、补偿及回返路径等问题,用户只需选择IV或CV算法,然后按一个键,便可开始执行准确的量测。