绝缘层上覆硅(SOI)晶圆与其它半导体生产用工程基板制造商Soitec(Euronext Paris),12日宣布其应用于65奈米线宽以下制程的应变绝缘硅(sSOI)晶圆已经上市,并成为业界首款因应未来需求而量产的商业基板。综合应变绝缘硅的高移动速度优势,以及绝缘层上覆硅具备的高速与低功率耗损特性,Soitec的新应变绝缘硅晶圆设计,可为新一代芯片带来更多在效能及功率上的优势。
Soitec总裁暨执行长André-Jacques Auberton-Hervé表示:『最新一批绝缘层上覆硅基板,目标锁定网络处理、运算、游戏及高阶无线产业内的进阶应用,而对这些应用来说,速度及极低功率十分重要。除了让芯片制造商可以更进一步扩大其产品的效能与功率优势,我们新的应变绝缘硅晶圆将会是未来之可延伸平台。』
Soitec指出,新一批应变绝缘硅基板之所以能吸引客户的兴趣,主要来自于市场与技术领导厂商希望能大幅提升电子移动速度,同时降低闸极的漏电与耗电量。此外,应变绝缘硅可协助克服CMOS制程感应的应变技术所带来的收缩问题,并为调整带宽间隙打开了一扇门。目前,Soitec为部分及完全耗尽装置架构,提供应变绝缘硅产品。由于应变绝缘硅与目前绝缘层覆硅和CMOS的制程兼容,并经证实可用于多鳍状信道电晶体(FinFETs)或多闸极信道晶体管(Multigate FETs)、 加上显著的移动能力增加与未来延伸性,应变绝缘硅对65奈米以下的装置来说,扮演十分重要的角色。
为达到客户对发展中应变绝缘硅的要求,Soitec已将其300毫米应变绝缘硅平台从开发转换到第一阶段的量产,这与公司进一步扩展产能,以符合市场要求的策略计划一致。Auberton-Hervé总结:『就像当初发展绝缘层上覆硅一样,我们将开始进行初期制造以因应早期用户的需要。接下来,当主流市场开始大量使用这项创新基板技术时,便启动量产步骤。此时,我们会持续专注于提高质量以符合客户不断演变的技术需求。』