Rohde & Schwarz现在为DUT片上器件的全面射频性能表徵提供测试解决方案，该解决方案结合了Rohde & Schwarz强大的R&S ZNA向量网路分析仪和FormFactor业界领先的工程探针系统。

R&S ZNA向量网路分析仪与FormFactor SUMMIT200探针系统一起对晶片进行测量

半导体制造商可以在开发阶段、产品认证和生产过程中执行可靠且可重复的片上器件表徵。R&S ZNA向量网路分析仪与FormFactor SUMMIT200探针系统一起对晶片进行测量。

5G RF前端设计师需要确保RF能够满足频率覆盖和输出功率，同时优化能效。该过程中的一个重要阶段是RF设计调查，以尽早获得设计回??，并评估晶圆级的性能。

表徵片上环境中的DUT需要测量系统，该测量系统包括向量网路分析仪（VNA）、探针台、RF探针、电缆或适配器、专用校准方法以及用於特定DUT或应用的校准基板。

为了满足这些重要的测量要求，Rohde & Schwarz提供了高端R&S ZNA向量网路分析仪，该分析仪可表徵同轴和波导级的所有RF叁数，以及用於67 GHz以上应用范围的频率扩展器。

FormFactor通过手动、半自动和全自动探针系统解决晶圆接触问题，包括热控制、高频探针、探针定位器和校准工具。包括R&S ZNA在内的整个测试系统的校准完全受FormFactor WinCal XE校准软体支援。

由於测试设置具备完全校准，用户可以使用R&S ZNA的所有测试功能。通用S叁数测试可以表徵滤波器和有源器件，也可以执行失真、增益和交调测试对功率放大器进行验证。该联合解决方案还支援针对混频器的频率转换测量，其相位特性涵盖器件的整个频宽。

完全校准的设置还允许用户直接从VNA获得所有结果，无需後处理，校准资料直接应用於VNA。Rohde & Schwarz的频率扩展器开辟了D波段等亚太赫兹频率，是目前6G研究的重点。扩展器集成到探针台，确保最短的布线并实现最隹的动态范围，同时避免由於到探针尖端的布线造成的损耗。