明导资讯(Mentor Graphics)于日前宣布,联华电子已决定采用该公司的套装工具--Calibre做为次波长解决方案(sub-wavelength solution)。明导表示,在制程技术进入次波长(sub-wavelength)的时候,一定需要应用解析度强化技术(Resolution Enhancement Technologies, RET),使用Calibre可以享有快速的作业时间(turn-around time)和精确性。
明导指出,Calibre是一系列的次波长解决方案套装工具,其中包括了Calibre WORKbench、Calibre OPCpro、Calibre ORC、Calibre PRINTimage以及Calibre PSMgate等产品,它结合了Calibre的实体验证(physical verication)技术以及multi -threading的平行处理能力,因此当电路设计进入次波长的规格时,Calibre提供客户最短的作业时间。除此之外,Calibre还可以执行光学制程修正前与修正后的验证,这使得IC制程进入0.18微米或是更精密时,确保设计的整合性和微影制程能力。