明導資訊(Mentor Graphics)於日前宣佈,聯華電子已決定採用該公司的套裝工具--Calibre做為次波長解決方案(sub-wavelength solution)。明導表示,在製程技術進入次波長(sub-wavelength)的時候,一定需要應用解析度強化技術(Resolution Enhancement Technologies, RET),使用Calibre可以享有快速的作業時間(turn-around time)和精確性。
明導指出,Calibre是一系列的次波長解決方案套裝工具,其中包括了Calibre WORKbench、Calibre OPCpro、Calibre ORC、Calibre PRINTimage以及Calibre PSMgate等產品,它結合了Calibre的實體驗証(physical verication)技術以及multi-threading的平行處理能力,因此當電路設計進入次波長的規格時,Calibre提供客戶最短的作業時間。除此之外,Calibre還可以執行光學製程修正前與修正後的驗証,這使得IC製程進入0.18微米或是更精密時,確保設計的整合性和微影製程能力。