美国Cymer公司-一家半导体生产用的深紫外线(DUV)光源主要供货商与德国卡尔•蔡司SMT公司-一家专门生产芯片制造及制程控制用的光学系统的主要供货商今天宣布合组TCZ公司,这一家合资公司,致力于开发创新的生产设备针对前瞻的平面显示器(FPD)市场。这两家公司基于它们在雷射与光学组件方面广泛的专门技术,已开发了一种生产工具来改进薄膜晶体管(TFT)显示器的低温多硅(LTPS)制程。
主动式液晶显示器与逻辑电路整合或称作系统整合面板(SOP)及有机发光二极管显示器(OLED)的大规模的量产导入有很大的程度因为缺乏低成本的低温多晶硅制程而有所延宕。TCZ公司的细光束结晶雷射回火工具将填补这种空隙。TCZ公司运营总部将坐落在圣地亚哥,将会由前Cymer公司前瞻技术与应用部执行副总经理布莱恩•克里尼(Brian Klene)来担任其执行长。克里尼向由Cymer和卡尔•蔡司SMT公司高阶主管所组成的TCZ公司董事会报告。Cymer公司拥有合资企业60%的股份,卡尔•蔡司SMT公司拥有合资企业40%的股份。
“现有的平面显示器(FPD)生产制程将满足不了产业对于做出高良率又高性能的显示器但又能有效降低成本的市场要求”,TCZ公司总裁与执行长布莱恩•克里尼说。“我们发觉藉由我们在技术上、客户服务及支持架构的优势所带来的可靠、高良率、高性能的制程解决方案可以让显示器厂商认识到多晶硅的好处。我们的解决方案意味着低温多硅(LTPS)对平面显示器(FPD)厂商来说不再是成本高而无法采用的制程,而且客户也会在数量日益增加的更明亮、分辨率更高的显示器产品中受益。”