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于28奈米制程之样式比对微影热点验证 可简化制程加速硅晶制造时程

【CTIMES/SmartAuto 报导】   2013年03月18日 星期一

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新思科技(Synopsys)宣布,联华电子(United Microelectronics Corporation)采用新思科技IC Validator实体验证(physical verification)解决方案,于其28奈米制程节点之微影(lithography)热点(hot-spot)检核。IC Validator模型比对(pattern matching)可快速侦测出受限于制造技术的布局(layout),大幅加速最后的设计签核(design signoff)步骤。而针对In-Design实体验证,IC Validator可结合IC Compiler解决方案,如此能让从事布局绕线的工程师在设计后期避免突如其来的变动,并减少手动修正的情况,进而加速投片(tapeout)时程。透过自动修复微影的违例(lithography violations),IC Validator模型比对技术可延展In-Design的流程,进而实现设计周转(turnaround)时间的优化。

要在28奈米制程达成微影印刷适性(printability)可能会对实体设计带来极大的限制,包括繁杂的设计规则检查(design rule checks ,DRC)以及运算密集的细部制程模型检查(process model checking)等。IC Validator透过创新的模型比对技术简化该作业,并藉由直觉式2D多型态样式分析强化传统DRC。模型比对能达成晶圆准度和极速效能(ultra-fast performance),可大幅加快微影热点的侦测,并加速投片时程。

如果结合IC Compiler解决方案,IC Validator模型比对技术可扩大In-Design实体验证的效益,减少后期不确定因子的发生率并降低手动修正的情况。有了模型比对技术,设计人员可直接在实作环境中透过按钮进行微影热点的筛检。快速模型比对分析利用了整个In-Design架构,包括直觉式的错误回报、GDS合并、错误分类等。在绕线过程中,一旦侦测到违例状况(violations)便会自行启动修复机制,如此可省下繁复且易出错的手动修正步骤。具备模型比对的In-Design实体验证,让设计人员能够提早实现并维持完备的设计,如此可提升最后布局的质量,并减少进度上的风险(schedule risk)。

關鍵字: 28奈米  联华电子  新思科技 
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