近日工研院電子所宣佈成立「微機電系統技術使用者聯盟」，主要目的為國內業者製程發展所需的研發環境，以及建立微機電資訊交流機制，提昇我國微機電技術之國際競爭力。目前國內五家微機電代工廠加入外，聯盟成員中還包括明基、台達電與旺宏等，且分別投入印表機噴墨頭、射頻與設計部份。

電子所所長徐爵民表示，成立聯盟的目的，在於強化微機電產業上下游之交流。此次加入電子所成立的聯盟之產學單位共計24家，包括材料、設備、IC設計、製造、封裝及系統等廠商。

目前電子所已完成並可技轉的技術，主要為CMOS微加工技術與CMOS MEMS整合技術。徐爵民指出，CMOS微加工技術是微機電系統技術發展的基礎，結合半導體技術與精密加工技術，製作出比超細微結構、元件及產品。微機電系統技術使用者聯盟成立後，將提供共用晶片（Common Chip）及共同實驗室（Common Lab）等研究群。