據經濟日報報導,台積電昨日以領先全球的「0.13微米SoC低介電質銅導線先進邏輯製程技術」獲頒行政院92年度「傑出科學與技術人才獎」。國科會日前舉行的「傑出科技榮譽獎」頒獎典禮,共有台積電副總蔣尚義所領導的團隊,以及黃光國、余淑美、陳壽安等教授獲獎。
台積電獲獎團隊是由研發副總經理蔣尚義領軍,成員包括負責先進模組的梁孟松、領導銅導線和低介電材料整合的余振華、開創193奈米黃光製程的林本堅,與負責良率提升和整合整體邏輯製程的孫元成、楊光磊等人。
蔣尚義指出,台積電在3年前,開發0.13微米製程技術之初,原本考慮與一家國際知名的整合元件公司合作研發。但台積電最後選擇自行研發,並將研發基地設在新竹的公司總部,不僅領先那家公司,自行開發出技術,更讓台積電的研發團隊在國內生根,建立自主、領先的先進技術能力。
評審團認為,台積電0.13微米技術在8吋與12吋晶圓產能已超過40萬片,為台積電與國家帶來近400億元的營收,未來數年產值預期更將高達數千億元。此研究成果將繼續應用於90及65奈米製程上。