Information Network 最新報告預估，2002年全球前端半導體設備市場將比2001年成長8.2﹪該年全球半導體量測(Metrology)與檢驗(Inspection)設備市場規模將達61億美元，比2001年的45.8億美元增加33.2﹪。

報告另估計，2002年全球為距掃描式電子顯微鏡(Critical Dimension-Scanning Electron Microscope；CD-SEM)市場規模成長45.1﹪，達15億美元。2002年全球晶片缺陷檢驗設備(wafer-defect inspection) 市場規模將達37億美元，成長率為28.1﹪2002年全球自動缺陷檢視(automated defect ；defect review)設備市場規模將增加34﹪達9億美元。