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DRAM廠新舊製程轉換 恐將延遲至第四季 
 

【CTIMES/SmartAuto 報導】   2002年09月19日 星期四

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根據媒體報導,不少半導體設備廠與後段測試廠,對目前多家國內DRAM廠宣布即將進行新舊製程轉換的說法,仍持保留態度,表示新製程良率其實仍不穩定,產能大量轉換成新製程的時間點應會延遲至第四季末才進行。

由於包括三星、南亞科、力晶、茂德等國內外DRAM廠,近來相繼宣佈0.13微米新製程良率獲得重大突破,所產出的良品DRAM顆粒數,已經超過舊製程所產出的DRAM顆粒數,由於採用新製程已具經濟規模與成本效益,因此第三季末可開始進行新舊製程大幅轉換工作。

但是不少半導體設備廠與後段測試廠,卻對此一說法態度保留,表示DRAM廠新製程良率其實仍不穩定,現在進行大規模的新舊製程轉換風險很大,DRAM廠產能大量轉換成新製程的時間點,應會延遲至第四季末。

部分前段製程設備廠業者指出,一般在八吋晶圓上以0.18微米舊製程量產128Mb DRAM,產出良率已達九成以上,產出顆粒數約達四百五十顆,而以0.13微米新製程量產相同容量DRAM,雖然單片晶圓產出數量可增加30%,但若良率未達70%以上,產出顆粒不會超過舊製程。

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