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Ⅲ/Ⅴ族晶片廠將成立聯盟
 

【CTIMES/SmartAuto 陳瑩欣 報導】   2001年11月23日 星期五

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廿二日於首屆Ⅲ/Ⅴ族半導體策略論壇中,產官學界首度達成一致共識,將以現有Ⅲ/Ⅴ族晶片製造廠為主體成立聯盟,並與既有IC半導體相關業者整合組成「Ⅲ/Ⅴ族製程設備旗艦公司」,負責提供晶片製造廠所需生產設備;未來聯盟將會以無線通訊元件為基礎,發展為通訊(無線與光通訊)、奈米、微機電與生物晶片的共同平台,並有意以磷化銦(InP)製程為優先研發考量。

首屆Ⅲ/Ⅴ族半導體策略論壇中,包括經濟部技術處與國內所有Ⅲ/Ⅴ族半導體晶圓代工廠,已就相關製程設備自主化達成共識。未來前段晶圓生產設備的部份,將以改善現有製程技術瓶頸(如晶圓薄化)為優先,進而研究可取代現有昂貴卻不易掌控的新製程(如分離Demounting)等。

在後段封裝設備方面,則將配合Ⅲ/Ⅴ晶圓高密度及薄形化的趨勢,發展微小薄形晶片(Die)的覆晶構裝設備,而由於目前Ⅲ/Ⅴ設備的自動化程度仍只有近七○%,因此發展自動化機械界面也是業界人士共同心聲。經濟部技術處於會末並具體的將晶背製程設備、金薄膜電鍍設備、乾蝕刻機與晶圓薄化設備等近二十個項目列為優先發展項目。

關鍵字: Ⅲ/Ⅴ族製程設計 
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