VICTREXPEEK聚合物、VICOTE塗料和APTIV薄膜等高性能材料的製造商英國威格斯公司(Victrex plc)宣佈,以VICTREX PEEK聚合物為基礎的VICOTE塗料已獲得光電、半導體設備製造商擎邦國際科技採用,應用於2”,8” , 12”以上晶圓與LCD面板的中大型/DIP/SPIN設備系列上。VICOTE 804 BLK所具有的優異耐化學性、耐高溫性與絕佳的附著性成功地取代舊有的PTFE塗層。VICOTE塗料可減少塗佈機在顯影、蝕刻與去光阻製程中所產生的發塵量,不但可延長設備使用壽命與減少設備維修需求,更可大幅提升晶圓與LCD面板的生產效率與製程良率。
|
Victrex的VICOTE塗料獲擎邦塗佈機系列採用 |
無論半導體或LCD製程,黃光微影是最關鍵也是最困難的步驟。光阻劑、蝕刻液與顯影液需透過SPIN/DIP方式,才可以在晶圓與玻璃基板面板完成製造(fabrication)。面對高酸鹼化學物質與高溫等極為嚴苛的製程環境,設備的穩定與均勻性直接影響著晶圓與LCD面板的成品良率。
擎邦無塵室事業部廠長黃可強表示:『以終端用戶的角度來想,採用VICOTE塗料可減少設備維修需求與停工時間,進而提升晶圓與LCD面板的生產效率與製程良率。之前所採用的PTFE在經過顯影、蝕刻與去光阻製程中的冷熱循環過程、高酸鹼化學物質以及高溫環境,PTFE塗層容易掉落而導致塗佈機需經常停機更新表面塗層。自從換成VICOTE塗料後,目前都還沒接到維修需求。目前適用於8吋以上晶圓與LCD面板的中大型塗佈機系列都已採用VICOTE塗料。』