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Ultratech、矽品及Xilinx合作12吋凸塊晶圓 |
【CTIMES/SmartAuto 黃明珠
報導】 2003年04月01日 星期二
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生產半導體與奈米技術裝置的光蝕刻系統供應商Ultratech Stepper、矽品(Siliconware Precision Industries)、以及美商智霖公司(Xilinx)共同宣佈矽品成為全球第一家達到一萬套12吋凸塊晶圓里程碑的先進封裝與測試晶圓制造廠商。藉由這三家分別身為領導級晶圓制鑄造廠、無晶圓廠設計業者、以及專業製造商的密切合作, 進而成功為產業創造出此項重要的里程碑。除了見證Ultratech的12吋晶圓產能外,此項里程碑亦顯示12吋先進封裝技術已從研發邁入投產階段。 矽品生產事業群副總裁陳建安表示:「去年在嚴密評估過市面上各種生產工具後,我們決定採用Ultratech的 Saturn Spectrum 300凸塊工具。Ultratech的先進系統能滿足甚至超越我們12吋晶圓凸塊生產線的效能標準。此後我們即與Ultratech以及Xilinx成立更密切的合作聯盟,確保能持續改進技術。此項合作協助我們生產與供應矽品第一萬套12吋凸塊晶圓。」 Ultratech 總裁暨執行長Arthur W. Zafiropoulo 指出:「Saturn Spectrum 300的先進技術是協助矽品達成此項重大里程碑的關鍵之一。我們相信透過與矽品的密切合作,並搭配Ultratech的專屬工程團隊,將能有效協助晶圓廠因應投資的嚴謹需求,順利邁入量產階段。Ultratech身為先進封裝微影製程的領導廠商,將支援矽品的高階製程技術,充分滿足客戶目前與未來的需求。」 Ultratech 表示,Saturn Spectrum 300獨特的寬頻 1X光學技術結合該系統的晶圓平面高照度,創造出一套低成本的解決方案,可協助降低12吋先進封裝的量產風險。Saturn Spectrum 300採用Ultratech經實際生產測試的1X蝕刻技術達到最大的產量,並提供極高的彈性、產量、以及支援各種凸塊製程的延伸性。不同於其它在曝光時直接接觸晶圓的接觸式定位器(aligner),Ultratech的工具附有投射光學儀,能避免因光罩與晶圓直接接觸而導致產生降低。系統亦能自動選擇曝光波長 (i-line、gh-line 、或ghi-line),並採用小孔徑鏡頭設計,為各種凸塊製程系統提供最大的景深。
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關鍵字:
Ultratech
矽品
Xilinx(賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思, 賽靈思)
Arthur W. Zafiropoulo
一般邏輯元件
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