外電消息報導,國際半導體製造聯盟(International Sematech)日前表示,18吋晶圓的生產設備樣本,將有望在2010年推出,而提供試產線(pilot line)使用的設備,也將在2012年問世。
Sematech表示,將於2012年推出的18吋晶圓試產線設備,將採用22奈米節點,以因應新一代的晶圓製程需求。至於實際的18吋晶圓量產時間,Sematech則未明確說明,僅表示時間點會受到整體經濟景氣和技術需求等各種因素影響。
據報導,目前許多半導體廠對18吋晶圓抱持樂觀的態度,但設備商卻不怎麼看好,原因是多數設備商都不願意投資18吋晶圓設備的研發。但Sematech副總裁Scott Kramer表示,這樣的情況已逐漸改變,有多家業者已有開發18吋晶圓工具的意願。
而為了推動18吋晶圓生產,Sematech除了訂定相關標準和設立測試平台外,Sematech還發起了一個「Next Generation Factory,NGF」的計畫,以降低目前的12吋廠的製造成本與生產週期,並預計在2012年完成這項計劃。