台積電今年7月移入12吋晶圓廠製程設備,製程設備已全部安裝完成,預計12月將可產出國內第一片12吋晶圓,成為國內第一條12吋晶圓的生產線。
台積電指出,由於台積南科六廠的12吋晶圓為試產線,幾乎集結全球的製程設備廠商全部參與。不過在台積六廠12吋晶圓的試產線中,大約有七成的製程設備來自台灣應材,其餘的製程設備,如科林等都參與台積的12吋試產線的開發。