政府開放8吋晶圓廠赴中國大陸投資只剩兩個名額，由於傳出相關單位有意放寬製程水準限制，已送件的力晶、茂德希望能直接以補件方式爭取由0.25微米放寬為0.18微米製程；但經濟部表示，在相關法令尚未修正完成的情況下，該投資審核仍以0.25微米製程為限，未來若政策確定放寬，相關業者可提出修正投資計畫。

力晶等業者認為，0.25微米製程在中國大陸已失去競爭力、投資獲利有限，此外也擔心政府若進一步開放半導體業者赴中國大陸投資0.18微米廠，台積電或聯電可能會出現爭取最後兩張許可證，因此才計畫以補件方式進行卡位。但經濟部投審會表示，目前的「在大陸地區投資晶廠審查及監督作業要點」，僅開放8吋晶圓、0.25微米以上製程在符合一定條件下赴大陸投資，放寬至0.18微米的修正案仍在討論尚未確定，補件並不會對此案件審查產生任何改變。

但投審會也表示，若力晶、茂德獲准西進投資0.25微米廠之後，政府修法通過放寬製程限制達0.18微米，力晶、茂德亦可以透過提出修正投資計畫的方式向經濟部提出申請，將投資案修正為0.18微米製程。