半導體設備大廠應用材料宣佈,12吋晶圓廠月產能邁向4萬片的DRAM大廠力晶半導體,向應材採購的第100套12吋晶圓製程用鎢金屬化學機械研磨設備(CMP)已完成裝機,象徵雙方合作關係緊密。
力晶半導體總經理謝再居表示,應材是力晶的重要合作夥伴之一,未來該公司會有更多採購自應材的12吋晶圓製造系統陸續裝機,對該公司的12吋0.1、0.11微米製程技術助益良多;應材副總裁暨台灣區客戶事業群總經理余定陸則指出,應材非常榮幸能與力晶半導體共創第100套機台裝機的新紀錄,未來雙方將在加速量產時程、提昇晶圓產出率以及設備生產力上有更多合作。
力晶第一座12吋晶圓廠(12A)滿載月產能將達4萬,該廠是全球半導體業界前三座進入量產的12吋晶圓廠。此外力晶也2003年10月興建第二座12吋晶圓廠(12B),預計2004年完工,2005年3月裝機、5月試產,並於第三季進入量產,滿載月產能可達4萬片規模。