根據中央社報導,工研院電子工業研究所,日前發表利用半導體優勢領先世界的微機電技術,電子所微電機元件技術組組長黃新鉗表示,盼藉著微機電技術的開發與技術轉移,帶動更多設計中心投入此一領域,而能在2007年讓台灣微機電產值達到10億美元。
工研院電子所發表的微機電技術成果,共分為微通訊、微流體與感測、微結構、應用系統整合及製程整合等五大類。其中,在製程整合部分,包括COMS、MENS(微機電)、COMS Machining等,都是利用台灣領先全球的半導體優勢,將微機電技術與IC結合,所開發的裝置將可應用於汽車安全氣囊元件等許多產品上。在微通訊部分,電子所開發出微機電射頻等元件與技術、掌握關鍵零組件技術,讓台灣在光通訊上從設計到製程,都有完整的產業技術支持。
另外,在共用晶片技術上,電子所希望能讓製程標準化、建立共通的平台,以降低廠商進入的門檻,而能在微機電IC平台上開發更多產品與應用。
黃新鉗表示,政府積極推動台灣轉型設計研發,因此電子所開發這些技術,目的就是希望拋磚引玉,透過技轉,並利用現有佔優勢的晶圓代工製程,讓台灣能增加更多的微機電設計中心,藉著民間力量的投入,讓更多設計中心投入微機電產業,帶動產業發展。
電子所希望到2007年時,台灣的微機電產業雖然也許仍無法與半導體相比,但產值能達到10億美元的水準。