據Digitimes報導，儘管大陸北京與廣州等地SARS疫情蔓延，但當地由政府刻意扶植並大筆投資的半導體產業似乎未受到太大的影響，興建新晶圓廠的投資腳步亦未曾減緩，仍將持續按照既定時程進行。

據半導體業者表示，雖然SARS的確影響大陸整體經濟發展，市場需求也出現明顯萎縮，但對於大陸的高科技產業來說，目前並沒有任何影響，相關晶圓廠的投資計畫也沒有因SARS而減緩腳步。根據市調機構Strategic Marketing Associates的統計數據，在2003年～2004上半年間，預計全球將有36座晶圓廠投入興建，其中約有24座晶圓廠將在2004年第二季前開始啟用；至於在新廠實際投入金額方面，全球在2004年上半前以大陸投入在新晶圓廠的資金最多，其次分別為美國、日本及台灣。

該機構分析師George Burns指出，就新設晶圓廠資本支出比例來看，亞太地區的廠商首次超越其他地區廠商，佔全球晶圓廠資本支出比例達45.5％，而北美地區廠商資本支出僅佔30.2％。值得注意的是，大陸半導體產業資本支出（含蓋新廠支出）在2003年達到36億美元，較2002年的17億美元規模，成長幅度超過100％。

2003年第一季全球有5個晶圓廠展開興建，相較之下，2002年第四季與2002年第一季分別只有2個新設晶圓廠。Burns表示，南韓三星（Samsung）已開始在韓國裝設Fab 12，而Hynix也計劃在南韓興建1座新廠，在亞洲地區將可看到相當大手筆的新廠投資案在進行；在日本方面，由東芝（Toshiba）、新力（Sony）及Elpida等籌建的300mm晶圓廠投資案，也正在進行中。