在台灣與大陸地區蔓延的SARS疫情,已經對大陸地區新建晶圓廠造成一定程度的影響,包括長江三角洲一帶正準備量產的8吋廠蘇州和艦和上海宏力,因其技術團隊和後勤支援廠商多為台灣業者,雖裝機作業已完成大半,但後勤支援仍會受到人員出差限制而所影響。
據工商時報報導,大陸新興晶圓代工業者上海宏力與蘇州和艦的新建晶圓廠,裝機時程並未受到SARS影響而有太大延誤,大陸半導體業者指出,蘇州和艦目前無塵室已完工、大部份設備亦皆已移入,一切建廠計畫都按原定時程。至於技術團隊部份,已知有六十餘位自聯電離職的工程師以上職級人員已經就位。但儘管如此,因支援的台灣後勤人員出差大陸受到限制,仍會對晶圓廠服務有所影響
該報導指出,和艦及宏力後勤支援廠商的台灣人員,原本經常往訪海峽兩岸,但五月份的出差活動幾乎已全數因SARS而停頓,雖少數設備商已為台灣長駐員工辦理居留證,且持台胞證入境大陸的三個月許可原本就可以再加簽三個月,短期內台灣支援上海及蘇州晶圓廠的人力還足夠,但若疫情持續,對客戶的整體服務還是有相當程度影響。
此外業界原本預料,中芯在北京經濟開發區正興建中的北京環球半導體12吋廠,肯定受到當地的SARS而延誤建廠工程,但經相關業者前往該公司工地瞭解,建築工人及重型設備依然照常活動,顯示工程進度似乎不受影響。