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抓紧EUV和石墨烯 美政府主控"后硅谷"布局
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2010年11月04日 星期四

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美国常指责其他国家政府把手伸进特定产业,造成不公平的竞争,阻碍了全球化资本主义市场完全开放的前景。现在,为了继续维持在全球半导体产业和关键技术的主导地位,美国联邦政府也正在把手伸进半导体产业。根据华盛顿邮报报导,美国政府已投资数十亿美元,在纽约州的Albany地区大规模动工,正在开辟新的半导体科学园区,并且已经着手研发新一代的芯片导电技术和材料。

华盛顿邮报指出,为了延续在半导体制造和技术领域的优势,美国政府已启动一项45亿美元的投资计划,在纽约州Albany市半导体科学园区内北方20英里的Saratoga郡,建设全新的奈米制程硅晶圆制造厂。纽约州政府也首开先例,提供金额同等于13亿美元的赋税补贴和银行优惠贷款等措施,主动支持这个正在兴建中的硅芯片晶圆厂区。

此外,美国政府也投入数亿美元的资金,从2001年开始在纽约州立大学内设立奈米级科技和工程学院(The College of Nanoscale Science and Engineering;CNSE)。现在CNSE已经建立起一套具备产业级规模、符合高标工业卫生环境标准、面积广达8万平方英呎的无尘室设施,可用来制造和研发先进硅芯片。除此之外,CNSE最近更以6500万美元收购新世代超短紫外光(Extreme Ultraviolet;EUV)制程设备,抢先占据先进半导体制程滩头堡。而目前为止,全球只有两套超短紫外光EUV制程设备可以运作。

以CNSE为联络核心,这个由美国政府主导的新半导体科学园区,已经吸引超过200家的芯片设计和制造厂商进驻,CNSE也提供上述无尘实验室和其他制程设备给相关厂商使用。例如除了IBM,GlobalFoundries最新28奈米制程的Fab 8晶圆厂也正在Saratoga大兴土木。值得注意的是,GlobalFoundries本身就看好EUV光罩制程在28奈米以下微型化制程的技术优势,正可利用CNSE的先进EUV制程设备,在晶圆制造过程中事半功倍。这或许能部分解答为什么GlobalFoundries会选择纽约州作为28奈米新晶圆厂落脚之处的重要原因之一。

华盛顿邮报进一步指出,美国政府正在建构一个「后硅谷」(post-silicon)的新半导体研发与制造环境,这个环境将密切整合大学先进研究机构、半导体芯片产业和联邦政府相关部门,而CNSE已成为这个政府主控下半导体产业网络的重要一环。目前主持CNSE的物理学家Alain Kaloyeros就不讳言地表示,「我们是美国半导体产业的最后一道防线。」

除了重新打造自己的半导体产业制造基地外,美国政府也正在积极投入研发新一代芯片导电技术和材料,从金字塔顶端启动「后硅谷」半导体产业的领先地位。这已成为美国半导体产业分配研发资源的优先考虑,而石墨烯(graphene)正是美国半导体产业的研发重点。因为石墨烯具备比传统硅芯片高出百万倍的导电性能,因此被视为是颇具潜力的芯片上互连层(interconnection layers)替代材料。用石墨烯制作的碳双极晶体管,能同时利用电子与电洞(electrons of holes),取决于是否施加正电压或是负电压。另一方面,硅晶体管则是单极的,只能使用单个电荷载体或者是电洞,依照组件是n或p型来决定正或负电压。

CNSE的研发团队便正在实验石墨烯材料,透过控制电子行为来传递讯息。除了CNSE之外,美国莱斯大学(Rice Univ.)也正在研发将石墨烯材料应用在模拟电路,这项计划有美国国家科学基金会(NSF)与美国国防部高等研究计划局(DARPA)在背后大力支持。另外,美国Rensselaer理工学院和IBM也正在开发藉由开启石墨烯的能隙、来达到开关电压的效果。

美国政府对于半导体制程与技术的态度如此积极其来有自。从率先成功研发真空管、晶体管到硅芯片等,美国都是全球半导体产业的核心。但是近年来这个明显优势已经越来越被拉近。中国和南韩政府长期对本国半导体产业进行各项补贴优惠和政策支持,之前就让美国经济分析师们不断示警,美国半导体产业的全球竞争力正不断下滑。加上越来越多的半导体制造厂移转到海外,2008年金融风暴前,美国在全球半导体产业的市占率已经停滞好一阵子,同时期更多的半导体制程设备也移往海外晶圆厂。当半导体制造的重心越来越移出美国境内时,许多更基础的半导体研究、更高阶的制程技术、更新颖的制程器具和系统工具也都随之停顿下来,半导体芯片的出口规模也因此萎缩。

Alain Kaloyeros就明白指出,光靠奈米科技或是半导体产业,不足以支撑美国3.3亿人口的生计,但是半导体产业就是带动整体经济架构的关键环节。因此美国政府这项「后硅谷」半导体科学园区兴建计划,正是为了提振本国半导体产业景气和就业机会。不仅如此,也要透过将半导体制程「根留美国」的计划,拉抬关键零配件和重机械设备制造产业的发展,进一步活络美国经济成长的动能。

關鍵字: 晶圆代工  EUV  石墨烯  CNSE  IBM  GlobalFoundries  微处理器  製程材料類 
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