应用材料公司宣布其Producer化学气相沉积制程设备的全球销售量,已正式突破300套大关,客户涵括遍及世界各地的芯片制造商;其中并有超过100套的系统销往台湾,这也再次验证了台湾于全球市场的重要性。在这300多套系统中,包含了200mm与300mm的制程设备,并已有20多套的Producer制程设备安装在300mm晶圆厂中。
应用材料公司副总裁Farhad Moghadam表示:「Producer这套制程设备的每一项组件的设计,都是为让200mm及300mm晶圆制造商拥有极高的生产力。目前已经有许多客户把Producer当成标准的制程设备,并用其来支持大量生产的化学气相沉积制程,包括铜芯片的介质薄膜制程应用。」
Producer制程系统是应用材料于1998年推出,其采用独特的平台架构,即是拥有一个集中式的晶圆传送室,上面最多可以安装三个双反应室的化学气相沉积模块;此传送室把晶圆成对的送至各个模块中,让这套制程设备最多可同时处理六片晶圆。因此,Producer可达到每小时130多片晶圆的产出率,并在处理10万片以上的晶圆后,才需对设备进行湿洗的清洁工作。