Evonik携手工研院推动面板产业镀膜技术

德国化学技术厂商赢创（Evonik Industries AG）日前来台与工研院技术合作，在新竹成立该公司在全球第一座应用技术中心（Application Technology Center，简称ATC），以推动面板产业导入镀膜技术。适逢本文前去德国纽伦堡（Nuremberg）采访「SENSOR+TEST 2014」（感测与检测展），特此受赢创之邀前往位在德国马尔（Marl）化学工业园区的研发实验室，为读者带来第一手的报导。

赢创ATC结合工研院的资源与产业力量

赢创公司电子解决方案事业部副总裁Ralf Anselmann博士指出，该公司的前身德固萨（Degussa AG），最早成立于一八七三年，并陆续和成立于一八四七年的高施密特（Goldschmidt）、一九○八年的斯卡维（SKW）、一九三八年的赫斯（Huls）等化学大厂合并，在二○○七年以赢创（Evonik）为品牌之后，积极进入更多新兴的化学应用领域。目前全球员工有三万三千多人，二○一三年的营业额约为一百廿七亿欧元。而这次和工研院合作成立的ATC，就是要积极推动具有下一代显示器产业典范实力的液态涂布（solution coating）镀膜技术，并透过此中心就近服务台湾与亚洲的客户。

工研院显示中心副主任李正中博士在接受本文专访时表示，两年前工研院就已经和赢创在照明电子方面有所合作，至于这次的合作则主要是运用工研院显示中心旗下的AMOLED（Active-matrix organic light-emitting diode，主动矩阵式有机发光二极管）二点五代线，以及约四十位显示面板晶体管技术的专家人力，并藉由台湾在面板产业与上下游整合的群聚力量，来验证整个技术在产在线的实务运用，以协助业界进入今后4K/8K的高阶显示时代。而根据去年底在「显示器国际会议」（IDW：International Display Workshop）中的大会简报，目前已有包括友达光电（AUO）在内的台湾厂商开始导入这项技术。

涂布技术将取代真空技术成为今后显示产业的典范

赢创资深项目经理Alexey Merkulov博士在介绍该公司研发设施与实验室时指出，有别于当今主流的蒸镀（CVD，化学气相沈积）与溅镀（sputter）技术都需要真空的环境来处理显示基板（back plane）上的薄膜晶体管（TFT），赢创的iXsenic液态涂布技术是以金属氧化物（metal-oxide）半导体为材料，取代过去的非晶硅（amorphous silicon）材质，且可以在一般环境中（无需真空，也不需要特殊的大气压力）进行，不仅能降低设备与耗材的投资与处理成本，也会因为只将化学材料运用在涂布的基板上而提升许多制程效率（例如：不用等到整个蒸镀环境都充满了化学气体，也不用把化学材料溅镀到无需作用的区块）。

之前曾在德国马尔研发实验室服务的ATC负责人赢创资深项目经理苏国辉（Kent Su）在台北接受本文专访时也认为，这项技术将不仅能运用在显示面板的半导体层，还能应用在触控面板的黑色矩阵（BM：Black Matrix）油墨、介电层（dielectric）、蚀刻阻挡（etch-stopping）、钝化层（passivation）等环节中。他以面板所需的遮光用BM为例指出，以往触控面板上使用的氧化铟锡（ITO：Indium Tin Oxide）材料，需经过高温烧烤才得以控制其透光率与阻抗，但也会因此破坏了传统以有机材质为主的BM，而赢创的iXsenic液态涂布技术具有耐高温，并可在常温下使用的特点，能因此让BM的功效充分显现，更不用担心烧烤过程中被烧毁。此外，这项技术还可以运用在软性电子（printed electronics）、电子纸（e-ink）、可挠式电子显示（flex display）等产品上。

涂布技术未来将朝印刷式技术迈进

该公司营销总监Daniel Katterbach则补充说，赢创的iXsenic液态涂布技术除了先前提到在制程上的能源效率（不需要真空也不需要特殊气压）以及材料效率（化学材料只需用在刀口上，甚至只要以往的十分之一）优势，其对于当今显示基板上TFT的物理平整性（homogeneity）、电流特性、电子移动速率（mobility）等都有很显著的超越。此外，目前拥有三十位来自世界各国（包括台湾）来的马尔研发实验室研究团队，也计划把涂布技术朝印刷式技术迈进，甚至运用到RFID（射频辨识）、印刷式微处理器（hybrid micro-processor）等领域中。