安森美半导体(ON Semiconductor)获欧洲核子研究理事会(CERN)颁发产业奖,表彰安森美半导体为CERN供应用于ATLAS粒子物理实验的复杂像素粒子传感器(Pixel Particle Sensor)芯片。
CERN是世界上最大的粒子物理实验室。ATLAS协作项目是CERN四个主要的粒子物理实验之一。ATLAS实验利用CERN的大型强子对撞机(LHC)来探索物质的基础属性和形成宇宙的基本力量。从2008年年中开始,ATLAS探测器将搜索每个质子能量达到极高的7万亿电子伏(TeV)情况下的质子正面碰撞的新发现。在物理科学领域,ATLAS是全世界前所未有的最大协作项目之一,共有来自37个国家超过166家大学和实验室的1900名物理学家参加。
安森美半导体与捷克共和国科学院物理研究所密切合作,在硅晶圆两面使用光刻开发出特殊技术,提供ATLAS设计用于硅片内部追踪器的大面积像素粒子传感器芯片。迄今为止,安森美半导体参与这项目一向获捷克贸工部的补助金支持。
安森美半导体捷克共和国和斯洛伐克副总裁兼总经理Michael Mandracchia说:「在与捷克共和国科学院物理研究所的密切合作下,安森美半导体开发出了用于像素粒子传感器的定制双面技术,并在安森美半导体位于捷克共和国Rožnov pod Radhoštěm的制造厂生产出相关芯片。每一块硅晶圆上通常同时制造着数百片、有时甚至多达千片的半导体芯片。在ATLAS像素传感器芯片的项目中,我们在每块晶圆上仅制造3个传感器芯片,而晶圆的两面都为有源结构。这些晶圆的厚度仅为标准生产晶圆厚度的一半。由于这工艺需要低的缺陷密度和仔细的晶圆处理,故需求非常的高。」