益华计算机(Cadence)与ASML的MaskTools事业群,宣布签署一份为期数年、价值数百万美元的软件授权,合作开发先进分辨率增进技术(Resolution Enhancement Technology: RET)软件解决方案。两家公司将会密切合作,共同开发整合的DFM(Design for Manufacturability)流程。
在此协议下,Cadence益华计算机将会授权并合作开发两个ASML MaskTools软件套件:MaskWeaver,一个全芯片RET(full-chip RET)、具有光学邻近效应修正功能(optical proximity correction,OPC)光罩软件优化解决案,以及LithoCruiser,一个具有微影制程分析功能的软件优化解决方案。
前Cadence益华计算机执行副总裁暨总经理Lavi Lev表示,"微影技术在65奈米与65奈米以下的制程强调的是,设计与微影技术之间一个新层级的互相依赖性。我们的客户可藉由最先进设计工具与分辨率增进技术,来缩短生产时程并增进产量。"有了这个新的协议,Cadence的客户便可以在ASML MaskTools的开发小组的技术协助下,取得尖端的RET与微影技术仿真软件。"
ASML MaskTools总裁暨执行长Dinesh Bettadapur表示,"虽然ASML与Cadence益华计算机从不同的技术领域得到客户的肯定,但双方拥有许多共同的客户。Cadence益华计算机是EDA软件领域中公认的领导者,而ASML MaskTools则在创新的制造技术与软件产品上成名已久。我们将会一起为芯片设计师与制造厂商提供最完整的DFM产品组合。"